Guangtongxin yanjiu (Jan 2009)

兼具VOA功能的1×2 MEMS光开关

  • 郑洁,
  • 周日凯,
  • 马洪勇,
  • 胡强高,
  • 江山

Abstract

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光开关和可变光衰减器（VOA）是光通信系统中的关键器件,而微电子机械系统（MEMS）技术是一种具有发展前景的光开关技术。文章提出一种兼具VOA功能的1×2 MEMS光开关,详细介绍了其原理,并且利用矩阵光学推导了插入损耗的计算公式。在设计了透镜的各项参数的基础上制作出了光开关样品,并且将样品的测试结果与计算的结果进行对比分析,指出这种光开关是具有实用价值的。

Keywords