Вимірювальний перетворювач кутових переміщень з використанням фазових набігань електричного поля поверхневих акустичних хвиль

Abstract

Запропонований і теоретично обгрунтований метод однозначного вимірювання кутових переміщень з використанням фазових набігань на поверхні п’єзоелектричного хвилеводу електричного поля кількох поверхневих акустичних хвиль (ПАХ), що приймаються рухомим ПАХ-приймачем. Приведена оцінка потенційних метрологічних параметрів 3-х частотного перетворювача кутових переміщень в діапазоні 0…360 кут. град. з формуванням точної, проміжної та грубої вимірювальних шкал. Результати випробувань макету на базі п’єзоелектричного хвилеводу з структурою оксид цинку-плавлений кварц підтверджують можливість створення високочутливого вимірювального перетворювача кутових переміщень з роздільною здатністю та точністю, які близькі до параметрів індуктосинів, фотоелектричних перетворювачів та лазерних інтерферометрів, але можуть мати значно менші масогабаритні показники, вартість та складність конструкції. Бібл. 20, рис. 6.

Keywords

• Поверхнева акустична хвиля
• вимірювальний перетворювач кутових переміщень
• фазовий метод
• п’єзоелектричний хвилевід
• зустрічно-штировий перетворювач