تأثير زيادة نسبة الكاربون على الخواص الميكانيكية لكاربيد التيتانيوم المنجز بالافلام الرقيقة

Abstract

تمثل الافلام الرقيقة المكونة من مواد كاربيدية او نايتريدية ذات اهمية فائقة في مجال الصناعة لما لها من خواص ميكانيكية ممتازة مثل الصلادة اضافة الى امكانية الطلاء بدرجات حرارية واطئة تخدم السطوح الحساسة لدرجات عالية. في هذا البحث تمت دراسة تاثير نسبة الكاربون على الخواص الميكانيكية ممثلة بمعامل المرونة لافلام رقيقة من كاربيد التيتانيوم المنتج بواسطة التذرية المغنترونية لمدى معين من التراكيب الكيمياوية. وقد لوحظ ان هنالك استقرارية للخواص البنيوية للطور الناتج مع نسبة الكاربون المضافه حيث ان الطورالناتج هو في الغالب لكاربيد التيتانيوم بغض النظرعن نسبة الكاربون من حدود 34% الى غاية اقل من 65%. لوحظ ارتباط الخواص الميكانيكية للطورالكاربيدي بنسبة الكاربون. حيث تزداد الخواص الميكانيكية ( تزداد الصلادة) للطورالمنتج لغاية نسبة كاربون بمقدار 50% وثم تبدا بالتناقص بنسب كاربون اعلى. قد تشير هذه النتائج الى علاقة وثيقة بين الخواص البنيوية (Microstructure) والميكانيكية من جهة وبين الاجهادات المتبقية في الفلم الناتج من جهة ثانية.