Intercomparación en Mediciones Superficiales

Abstract

La trazabilidad en mediciones superficiales de micro y nanoestructuras es condición ineludible para garantizar la calidad en proyectos de innovación, investigación y desarrollo en el espectro disciplinar que abarca las ciencias químicas, biológicas, de materiales, siendo además un requisito para mediciones de rugosidad en la industria. La confiabilidad metrológica (ISO 10012) presupone el uso de instrumentos calibrados, patrones trazables, procedimientos de medición validados y balances de incertidumbre. Estos requerimientos no son habituales en microscopía y representa una debilidad a subsanar. En este trabajo se presentan los resultados de la intercomparación de mediciones de textura superficial en patrones 2D y 3D con cuatro tipos de instrumentos: Rugosímetro, Microscopio Confocal, Microscopio de Fuerza Atómica y Microscopio Electrónico de Barrido. Las evaluaciones de conformidad (ISO 17043) mediante la comparación de los errores normalizados (En), que ponderan los efectos sistemáticos y sus incertidumbres, convalidan el uso de los microscopios como instrumentos metrológicos.

Keywords

• Microgeometría
• Nanogeometría
• Rugosidad
• Microscopía
• Metrología Superficial
• Conformidad Metrológica
• Intercomparación