ACC Journal (Jun 2018)
KONSTRUKCE TRANSMISNÍHO SPEKTROMETRU PRO VAKUOVOU ULTRAFIALOVOU SPEKTRÁLNÍ OBLAST
Abstract
Měření transmise v tzv. vakuové ultrafialové (UV) spektrální oblasti, konkrétně mezi 160 až 190 nm, je důležité pro řadu materiálů (UV optická skla a pokrytí, diamant, tenké polymerní filmy, atd.). Nicméně, nutnost provádět měření ve vakuu a nutnost použití specifických optických elementů určených pro UV záření vede k tomu, že spektrometry pro oblast vakuového UV světla se vyskytují zřídka. Zde prezentujeme konstrukci našeho transmisního spektrometru pro vakuovou UV oblast. Je založen na Seya-Namiokově monochromátoru a umožňuje nám určit transmisi planparalelních optických vzorků ve spektrální oblasti od 160 – 600 nm se spektrálním rozlišením méně než 2 nm. V článku jsou také načrtnuta budoucí vylepšení systému, která výrazně zlepší jeho měřicí parametry.
Keywords