Análisis microestructural de películas delgadas nano estructuradas de Zn O

Abstract

Presentamos los resultados experimentales obtenidos del análisis microestructural de películas delgadas de ZnO con 20, 50 y 100 nm de espesor, crecidas sobre el sustrato de vidrio comercial por pulverización catódica reactiva. Analizamos la información cuantitativa sobre tamaño de los dominios cristalinos, dirección de textura de las nanocolumnas, sus densidades, espesores, rugosidad supercial y interfacial obtenida a través de técnicas de caracterización como la microscopía electrónica de barrido (MEB), la reflectividad de rayos X (XRR) y la difracción de rayos X (DRX).

Keywords

• pulverización catódica reactiva
• Capas delgadas de ZnO
• MEB
• RRX
• DRX