Avances en Ciencias e Ingeniería (Jan 2012)

ESTUDIO TOPOGRÁFICO DE PELÍCULAS DELGADAS DE ORO SOBRE MICA MEDIANTE EVAPORACIÓN POR MÉTODO FÍSICO

  • Sebastián Bahamondes,
  • Sebastián Donoso,
  • Ricardo Henríquez,
  • German Kremer,
  • Raúl Muñoz,
  • Marcos Flores

Journal volume & issue
Vol. 3, no. 2
pp. 79 – 86

Abstract

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Se presenta un estudio topográfico de la formación de películas delgadas de oro sobre mica moscovita. La caracterización de las muestras fue hecha con microscopio de efecto túnel (STM) y microscopio de fuerza atómica (AFM). Se realizó un conjunto de muestras del mismo espesor, evaporadas a distintas temperaturas del sustrato (entre -160 y 260 °C) y otro conjunto de muestras evaporadas a temperatura ambiente variando su espesor (ente 1,5 y 33 nm). Los resultados muestran que el oro presenta un crecimiento tridimensional a través de la formación de granos; estos se presentan aislados o formando nanohilos hasta los 6 nm de espesor, los cuales recubren completamente el sustrato sobre 8 nm de espesor. El diámetro promedio de grano es constante hasta espesores de 8 nm y aumenta con el espesor para deposiciones mayores. El diámetro promedio de grano es similar para películas de igual espesor sin importar la temperatura del sustrato.