一种敏感位移的光栅结构优化分析

Abstract

针对目前位移传感器体积较大和分辨率较低的问题,文章设计了一种面内位移检测的双层纳米光栅结构,用耦合波理论阐述光栅的衍射性质,使用Gsolver软件对双层光栅的上下两层光栅间隙、光栅周期、光栅占空比以及入射波长进行了优化仿真分析,研究在各参数下,双层纳米光栅面内位移对衍射效率的影响,最终得到一组对位移敏感的光栅结构。仿真结果表明,当两层光栅间隔为200 nm、光栅厚度为390 nm、光栅周期为800 nm以及入射光的波长为850 nm时,双层光栅的光透射特性较好。可通过检测透射光强的变化来获得光栅的面内微位移。

Keywords

• 光栅;衍射光强;Gsolver软件;衍射效率;微位移