Influencia del diseño de una cámara de niebla en la deposición de nano-películas delgadas líquidas – prueba de concepto

Abstract

Diferentes diseños de cámaras de niebla, cuyo propósito es la generación de un fino aerosol, fueron evaluados en términos de su aplicación para la deposición de capas delgadas homogéneas sobre superficies sólidas. El abordaje desarrollado comprende un generador de aerosol que se adapta a las diferentes cámaras estudiadas, lo que se denomina en adelante como cámara de niebla (mist chamber). Particularmente, el foco de interés fue la utilización de pequeños volúmenes de líquidos para la generación de una niebla fina, debido a su importancia en aplicaciones donde la concentración de aerosol y la distribución del tamaño de las gotas deben ser ajustadas a necesidades específicas. Cuatro cámaras de niebla fueron evaluadas y sometidas a pruebas experimentales, con el fin de caracterizar el rendimiento de cada propuesta. Como prueba de concepto para las cámaras de niebla diseñadas, una mezcla líquida de monómeros de base acrílica fue depositada en obleas de silicio y posteriormente polimerizadas mediante un plasma jet a presión atmosférica. Finalmente, un riguroso análisis de la superficie de las capas obtenidas reveló que estas tienen un grosor en el rango nanométrico y presentan un patrón de deposición homogéneo.

Keywords

• películas delgadas
• cámara de niebla
• plasma a presión atmosférica