微光开关研究与发展现状

Abstract

光开关是光通信的关键部件 ,是近年来通信领域的研究热点 .文章介绍了微电子机械系统 （ MEMS）光开关的特点 ,从光开关的实现方式等方面分析了基于 MEMS的光开关的研究与生产现状 ,重点介绍了国外 MEMS光开关的研究与制作方法、应用水平 ,对发展我国的MEMS光开关提出了建议 .

Keywords

• 微电子机械系统;光开关;光通信