氮化铟导模共振滤波器在可见光波段模拟分析

Abstract

根据RCWT（严格耦合波理论）和等效介质理论,提出了在可见光波段的基于半导体材料氮化铟的亚波长光栅导模共振滤波器的结构设计和仿真方法,并探讨了滤波器反射谱对光栅参数的敏感性。在维持滤波器高峰值反射率、低旁带和窄线宽不变的条件下,利用其对光栅周期的敏感性,结合仿真提出了利用微机电系统梳齿驱动器改变光栅周期（ΔT为099.7nm）从而线性地控制共振波长输出（调谐范围为23nm）,实现了半高全宽小于1.15nm的可调谐反射型导模共振滤波器。

Keywords

• 亚波长光栅;导模共振;氮化铟;微机电系统