مطالعة تأثیر ضخامت و آهنگ لایه‌نشانی بر ویژگی‌های ساختاری لایه‌های نازک آلومینیوم بر روی بستر ITO/PEDOT:PSS/Alq3 تهیه شده به‌روش تبخیر گرمایی در خلاء

Abstract

هدف از این پژوهش بررسی تأثیر تغییر ضخامت و آهنگ‌های لایه‌نشانی متفاوت لایه‌های نازک آلومینیوم بر روی بستر ITO/PEDOT:PSS/Alq3 بر ویژگی‌های ساختاری لایة آلومینیوم است. بدین منظور لایه‌های نازک PEDOT:PSS، و Al به‌ترتیب بر روی زیر لایه ITO لایه نشانی شدند. برای بررسی اثر تغییر ضخامت، لایه‌های نازک آلومینیوم با ضخامت‌های 60 و 80 و 100 نانومتر و برای بررسی اثر تغییر آهنگ لایه‌نشانی، لایه‌های نازک آلومینیوم با آهنگ های 1/0 و 5/0 و 1 و nm/s 2 بر روی لایة 3Alq به‌روش تبخیر گرمایی لایه‌نشانی شدند. لایة PEDOT:PSS با روش لایه‌نشانی چرخشی با دستگاهspin coating ساخت شرکت Backer لایه نشانی شد. لایه‌های 3Alq و Al به‌ترتیب با روش لایه نشانی تبخیر گرمایی در خلاء با دستگاه تبخیر گرمایی در خلاء ساخت جهاد دانشگاهی دانشگاه شریف لایه نشانی شدند. ساختار لایه‌ها توسط پراش پرتو ایکس (XRD) و ریختار آنها توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی اثر میدان (FESEM) و میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) مطالعه شدند. مشخصه‌یابی پراش پرتو ایکس نشان داد که لایه‌های تهیه شده با ضخامت کمتر از nm 100 و با آهنگ لایه‌نشانی کمتر از nm/s 1 دارای ساختار بس‌بلوری با قله‌هایی در راستای صفحه (111) می‌باشند. تصاویر FESEM ساختار دانه‌ای نمونه‌ها را نشان می‌دهد. افزایش آهنگ لایه‌نشانی منجر به افزایش خوشه‌ها در سطح لایه می‌شود که افزایش اندازه دانه‌ها را به‌همراه دارد. تصاویر AFM نشان می‌دهند که افزایش ضخامت لایه و آهنگ لایه نشانی باعث افزایش زبری سطح لایه می‌شود.

Keywords

• آلومینیوم
• لایه نازک
• تبخیر گرمایی
• آهنگ لایه نشانی