Reconstrucción de objetos por perfilometría interferométrica con sistema de posicionamiento de mira periódica

Abstract

En este trabajo se presenta un método para extraer información 3D usando un microscopio interferométrico, sin la necesidad de utilizar un dispositivo transductor piezoeléctrico (PZT, por su siglas en inglés). En lugar de ello se utiliza un sistema de posicionamiento que aprovecha la sensibilidad a la fase de una mira periódica, que es registrada mediante el uso de un sistema de visión. El procesamiento de la mira permite calcular la distancia relativa entre el objetivo Mirau y el objeto. Reconstrucciones topográficas de algunas décimas de milímetros fueron calculadas con una precisión de aproximadamente 28 nanómetros. Se presenta un análisis teórico y algunos resultados experimentales.