Depósito de capas de nitruro de carbono mediante ablación láser

Abstract

Se presenta la preparación de capas finas de nitruro de carbono mediante la ablación de diferentes tipos de blancos (grafito, guanazol) en una atmósfera reactiva de amoniaco utilizando un láser de excímero de ArF (193 nm). Las capas se han depositado sobre diferentes soportes (obleas de silicio y aluminio) y se han analizado empleando técnicas de caracterización básicas como la espectroscopia infrarroja mediante transformada de Fourier (FTIR), espectroscopia de rayos X por dispersión de energía (EDX) y perfilometría. Se ha realizado, para los dos blancos utilizados, un estudio comparativo de la influencia de la presión total de amoniaco en la velocidad de depósito, composición y propiedades del material obtenido. Se ha observado en ambos casos la progresiva incorporación de nitrógeno en las capas con el aumento de la presión de amoniaco, estando el nitrógeno enlazado al carbono en diferentes configuraciones (enlaces simples, dobles y/o triples). La utilización del blanco de guanazol se muestra más eficiente en la incorporación de nitrógeno en las capas y en la formación de enlaces simples de C-N.

Keywords

• ablación láser
• nitruro de carbono
• fotodisociación de amoniaco
• láser de excímero
• capas delgadas