Механические напряжения в тонких пленках цирконата-титаната свинца, сформированных на подложках, отличающихся температурными коэффициентами линейного расширения

Abstract

Рассмотрено влияние линейных и изгибных напряжений на величину внутреннего поля и самополяризации в тонких пленках цирконата-титаната свинца (PZT), сформированных методом высокочастотного магнетронного распыления на подложках кремния и ситалла СТ-50. Состав тонких пленок соответствовал области морфотропной фазовой границы. Предположено, что изгибные напряжения в биморфных структурах «тонкая пленка PZT — подложка» приводят к появлению внутреннего электрического поля, вызванного диффузией заряженных кислородных вакансий (эффект Горского в сегнетоэлектриках).

Keywords

• тонкие сегнетоэлектрические пленки
• цирконат-титанат свинца
• морфотропная фазовая граница
• механические напряжения
• внутреннее электрическое поле
• самополяризация