单纤三向器件平面光波导芯片结构优化设计

Abstract

文章对采用平面光波导技术的单纤三向器件（Triplexer）芯片结构的参数进行了优化设计,对单元结构的光谱响应进行了模拟计算,通过数值模拟分析了结构的工艺容差性。结果表明,采用双模耦合器和M-Z干涉仪结构可以得到工艺容差性高、光谱响应优良的适用的Triplexer器件。

Keywords

• 单纤三向器件;平面光波导;双模耦合器;M-Z干涉仪