بررسی تغییرات ریزساختاری پوشش های نانوساختار سخت با تغییر ترکیب شیمیایی آنها با استفاده از میکروسکوپ های الکترونی روبشی SEM و عبوری TEM

Abstract

نتایج تحقیقات مختلف نشان داده است که رابطه‌ای قوی بین ریزساختار یک پوشش و خواص مکانیکی، الکتریکی و نوری آن وجود دارد. بررسی دقیق ریزساختار یک پوشش، به میکروسکوپ‌های الکترونی نیاز دارد که قدرت تشخیص آنها در محدوده نانو و یا حتی کوچک‌تر از آن باشد. هدف از استفاده میکروسکوپ‌های الکترونی در علم مواد، یافتن رابطه ی بین ریزساختار و خواص مختلف مواد است. در مقاله حاضر اصول کارکرد و روش تهیه نمونه مناسب برای میکروسکوپ‌های الکترونی با تمرکز بر میکروسکوپ الکترونی عبوری، به عنوان روشی مفید جهت ارزیابی ریزساختار پوشش‌های نانوساختار مورد بحث قرار خواهد گرفت. در انتها به منظور درک بهتر روش‌های استفاده از میکروسکوپ‌های الکترونی در شناخت ریزساختاری پوشش‌های نانوساختار، تغییرات ریزساختاری پوششهای CrAlN و نانوکامپوزیتی TiAlN/a-C با تغییر ترکیب شیمیایی آنها با استفاده از میکروسکوپ‌های الکترونی مورد بررسی قرار گرفته است.

Keywords

• میکروسکوپ‌های الکترونی
• پوشش‌های نانوساختار سخت
• پوشش‌های نانوکامپوزیتی