Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом

Abstract

Проведено опис роботи лазерного еліпсометричного мікроскопа ЛЭМ-3 для контролю товщини тонких плівок. Показано, що еліпсометричні методи контролю дозволяють вимірювати товщини та коефіцієнти заломлення тонких прозорих діелектричних плівок у діапазоні товщин від 0,3 нм до 1500 нм (0,0003–1,5 мкм) з похибкою вимірювання ±0,3 нм.

Keywords

• контроль товщини
• тонка діелектрична плівка
• еліпсометричний метод
• коефіцієнт заломлення