Cristalización y morfología superficial de películas delgadas de Ag/SiO2 tratadas térmicamente

Abstract

En este trabajo se estudia las propiedades estructurales y morfológicas de las películas delgadas de plata de 60 nm de espesor, depositadas sobre sustrato de SiO2 y tratadas térmicamente a distintas temperaturas desde 250 hasta 1000℃. Se ha encontrado que al incrementar la temperatura de recocido, la película de plata se cristaliza en la dirección [111] aumentando la rugosidad superficial y formando islas. Sin embargo, entre la temperatura de recocido de 800 a 900°C se observa un cambio en la orientación preferencial a la dirección [200]. Se discute este cambio de orientación mediante los procesos de difusión.

Keywords

• Películas delgadas de Ag
• cristalización térmica
• recocido térmico