Nanotubos de carbono crecidos con técnicas de deposición química en fase vapor de acetileno asistido por plasma en presencia de vapor de agua

Abstract

Los nanotubos de carbono pueden ser sintetizados utilizando diversas técnicas. Este trabajo tiene como objetivo estudiar el proceso experimental de crecimiento de nanotubos de carbono mediante deposición química en fase vapor asistida por plasma (PECVD, por sus siglas en inglés). Además, el estudio pretende calibrar el reactor y desarrollar un código en LabVIEW para introducir agua en el proceso, permitiendo así un procedimiento PECVD asistido por agua. Las muestras obtenidas son evaluadas a través del análisis de imágenes SEM y espectros Raman.

Keywords

• nanotubos de carbono
• deposición química en fase vapor asistida por plasma
• deposición química en fase vapor asistida por plasma y vapor de agua.