МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ П'ЄЗОРЕЗИСТИВНОГО МІКРОДАВАЧА ТИСКУ ДЛЯ КОМПОНЕНТНОГО РІВНЯ ПРОЕКТУВАННЯ

Abstract

Розроблено математичну модель п'єзорезистивного МЕМС давача тиску. Змодельовано реакцію мікродавача, спричинену дією прикладеного тиску, а саме механічні напруження в його діафрагмі, її максимальний прогин, зміну опорів вимірювальних п'єзорезисторів, вихідну напругу мостової схеми Вітстона. Досліджено вплив геометричної форми і конструктивних розмірів діафрагми на її максимальний прогин і чутливість мікродавача від прикладеного тиску. Побудована модель мікродавача тиску може бути використана для аналізу його вихідних параметрів на компонентному рівні проектування.

Keywords

• мікроелектромеханічні системи (МЕМС)
• п'єзорезистивний МЕМС давач тиску
• модель
• автоматизоване проектування