Pengaruh Temperatur, Massa Zink, Substrat Dan Waktu Tahan Terhadap Struktur Dan Morfologi Zno Hasil Sintesis Dengan Metode Chemical Vapour Transport (CVT)

Abstract

Material Zink Oksida (ZnO) telah berhasil disintesis menggunakan metode Chemical Vapour Transport dengan bahan dasar prekursor berupa serbuk Zn yang dipanaskan hingga mencapai temperatur uap dalam furnace horisontal. Adapun variasi yang diberikan dalam penelitian adalah berupa temperatur pemanasan (850, 900, dan 950oC), massa prekursor Zn (0,15, 0,25, dan 0,35g), lama waktu sputtering substrat (90 dan 180 detik), dan waktu tahan khusus untuk mengetahui initial growth ZnO (10, 20, 30, 40, 50, dan 60 menit). Pembentukan Zink Oksida (ZnO) dikonfirmasi melalui data X-RD, dimana telah terbentuk material ZnO dengan struktur hexagonal wurtzite. Berdarsarkan data XRD juga diketahui ukuran kristal pada sampel sputtering 90 detik mengalami penurunan bersamaan penambahan massa Zn. Dari hasil pengamatan SEM didapatkan bahwa morfologi permukaan lapisan tipis ZnO terdiri dari berbagai macam bentuk berupa nanoparticle, nanowires, nanorods, dan nanotetrapod. Lapisan Zno paling tebal sebesar ±350 nm pada sampel 950oC-0,15g sputter 90 detik. Semakin tinggi temperatur operasi berdampak peningkatan ukuran partikel. Pengujian FTIR turut menguatkan terbentuknya lapisan tipis di permukaan substrat Alumina. Hal ini didasarkan terjadinya penyerapan vibrasi yang membentuk lekukan pada kisaran area 509 cm-1 dari masing-masing sampel.

Keywords

• ZnO
• Chemical Vapour Transport
• karakterisasi.