基于F-P腔的MEMS TOF的波长控制技术

Abstract

文章分析了基于法布里-珀罗（F-P）腔技术的微机电系统（MEMS）可调谐光滤波器（TOF）的调谐原理,推导并测试了其波长与温度及波长与电压的关系,提出了温度与电压相结合的波长混合控制技术,实现了15301560 nm范围内的波长可调的光滤波器。

Keywords

• F-P腔;微机电系统;温度控制;波长控制