UKŁADY AUTOMATYCZNEJ REGULACJI PRĄDU TERMOEMISJI ELEKTRONOWEJ W PRÓŻNIOWYCH PRZYRZĄDACH POMIAROWYCH

Abstract

Niniejsza praca zawiera przegląd dotychczas opracowanych układów regulacji prądu termoemisji elektronowej dla niskich energii elektronów wykorzystywanych w próżniowych przyrządach pomiarowych, między innymi, spektrometrach mas, próżniomierzach jonizacyjnych. W efekcie przeprowadzonej analizy zaproponowany został układ automatycznej regulacji prądu termoemisji elektronowej z cyfrowym, nieliniowym regulatorem PID.

Keywords

• układ automatycznej regulacji
• prąd termoemisji elektronowej
• jonizacja
• próżniowe przyrządy pomiarowe