基于MEMS技术的WSS中“兔耳”现象的研究

Abstract

在典型的微电子机械系统（Micro electro-mechanical systems,MEMS）型波长选择开关（Wavelength selective switch,WSS）中,一般使用双轴MEMS微镜来实现波长切换与光功率的衰减。文章从理论上研究了基于MEMS技术的WSS在实现衰减功能时"兔耳"现象产生的机理,并进行了实验验证。实验表明,用衍射理论的解释与实验结果能够较好地吻合。

Keywords

• 波长选择开关;“兔耳”;微电子机械系统