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Imaging MEMS motion at nano scale by time-resolved scanning electron microscopy
- Zaghloul Mohamed,
- Mehr Abbas Kosari,
- Bertacco Riccardo,
- Cuccurullo Simone,
- Maspero Federico,
- Pavese Giulia,
- Chen Hao,
- Ghisi Aldo,
- Corigliano Alberto,
- Pietralunga Silvia M.,
- Tagliaferri Alberto
Affiliations
- Zaghloul Mohamed
- Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano
- Mehr Abbas Kosari
- Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano
- Bertacco Riccardo
- Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano
- Cuccurullo Simone
- Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano
- Maspero Federico
- Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano
- Pavese Giulia
- Dipartimento di Ingegneria Civile e Ambientale, Politecnico di Milano
- Chen Hao
- Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano
- Ghisi Aldo
- Dipartimento di Ingegneria Civile e Ambientale, Politecnico di Milano
- Corigliano Alberto
- Dipartimento di Ingegneria Civile e Ambientale, Politecnico di Milano
- Pietralunga Silvia M.
- CNST@PoliMi, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT)
- Tagliaferri Alberto
- Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano
- DOI
- https://doi.org/10.1051/bioconf/202412909006
- Journal volume & issue
-
Vol. 129
p. 09006