Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio (Feb 2002)
Dependencia con el espesor de las propiedades ferroeléctricas de láminas con orientación preferente sobre substratos basados en silicio
Abstract
Lanthanum modified lead titanate thin films have been prepared by sol-gel onto two types of substrates: A: Ti/Pt/Ti/(100)Si, annealed at 650 ºC, and B: Pt/TiO2/(100)Si. Films with different thicknesses have been obtained by a multiple deposition and crystalisation process. X-ray diffraction study shows two kind of preferred orientations: films onto A substrate have <111>/<001>/<100> orientations, and films onto B substrate have <001>/<100>. Ferroelectric characterisation of the films have been carried out by means of hysteresis loops and switching currents measurements. Thickness and preferred orientation effects on these properties have been analysed. The highest values of remanent and switchable polarisation were Pr~35 μC/cm2 y Pc~23 μC/cm2.<br><br>Se han preparado láminas de titanato de plomo modificado con lantano por una técnica sol-gel, sobre dos tipos de substratos: A: Ti/Pt/Ti/(100)Si, recocido a 650 ºC, y B: Pt/TiO2/(100)Si. Se han conseguido láminas con diferentes espesores mediante un proceso de sucesivo depósito y cristalización. El análisis por difracción de rayos X muestra dos tipos de orientación: <111>/<001>/<100> para las láminas sobre el substrato A, y <001>/<100> para las láminas sobre el substrato B. La caracterización ferroeléctrica de las láminas se ha realizado mediante el análisis de los ciclos de histéresis y las corrientes de conmutación ferroeléctrica, estudiándose el efecto del espesor y del tipo de orientación preferente sobre estas propiedades. Los valores más altos obtenidos de polarización remanente y polarización conmutable fueron respectivamente de Pr~35 μC/cm2 y Pc~23 μC/cm2.
