Effect of the Al2O3 Deposition Method on Parylene C: Highlights on a Nanopillar-Shaped Surface

• Joanna Njeim,
• David Alamarguy,
• Xiaolong Tu,
• Alan Durnez,
• Xavier Lafosse,
• Pascal Chretien,
• Ali Madouri,
• Zhuoxiang Ren,
• David Brunel

Affiliations

Joanna Njeim

Sorbonne Université, CNRS, Laboratoire de Génie Electrique et Electronique de Paris, Paris, France

David Alamarguy

Université Paris-Saclay, CentraleSupélec, CNRS, Laboratoire de Génie Electrique et Electronique de Paris, Gif-sur-Yvette, France

Xiaolong Tu

Sorbonne Université, PSL Université, Ecole Normale Supérieure, PASTEUR, Département de Chimie, CNRS, Paris, France

Alan Durnez

Université Paris-Saclay, CNRS, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, Palaiseau, France

Xavier Lafosse

Université Paris-Saclay, CNRS, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, Palaiseau, France

Pascal Chretien

Université Paris-Saclay, CentraleSupélec, CNRS, Laboratoire de Génie Electrique et Electronique de Paris, Gif-sur-Yvette, France

Ali Madouri

Université Paris-Saclay, CNRS, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, Palaiseau, France

Zhuoxiang Ren

Sorbonne Université, CNRS, Laboratoire de Génie Electrique et Electronique de Paris, Paris, France

David Brunel

Sorbonne Université, CNRS, Laboratoire de Génie Electrique et Electronique de Paris, Paris, France