Informatyka, Automatyka, Pomiary w Gospodarce i Ochronie Środowiska (Sep 2014)

ABLACJA POLIKRYSZTAŁÓW CR2TE3 Z WYKORZYSTANIEM LASERA ND3+:YAG

  • Grzegorz Wisz,
  • Michał Barwiński,
  • Piotr Sagan,
  • Marian Kuźma

DOI
https://doi.org/10.5604/20830157.1121339
Journal volume & issue
Vol. 4, no. 3

Abstract

Read online

W pracy badano proces laserowej ablacji Cr2Te3: dla potrzeb nanoszenia cienkich warstw tego materiału metodą impulsowego osadzania laserowego (PLD). Target przygotowano w formie sprasowanej pastylki z proszkowego Cr2Te3 domieszkowanego proszkowym Zn. Do odparowania tarczy zastosowano promieniowanie lasera Nd3+:YAG o długości impulsu 20 ns i gęstości energii 16 J/cm2 oraz 34 J/cm2. Metodą EDX zbadano skład powierzchni targetu po ablacji. Stwierdzono nadmiar chromu co wskazuje na jego słabą desorpcję przy zastosowanych parametrach ablacji.

Keywords