Pengaruh Force dan Perubahan Dimensi Terhadap Karakteristik Microcantilever

Abstract

Sistem mikro-elektromekanis (MEMS) adalah teknologi proses yang digunakan untuk membuat perangkat kecil perangkat atau sistem terintegrasi yang menggabungkan komponen mekanik dan listrik. Komponen tersebut dibuat menggunakan teknik pemrosesan batch sirkuit terpadu (IC) dan dapat berkisar dari beberapa mikrometer sampai milimeter. Microcantilever banyak diaplikasikan dalam sensor kimia dan biologi karena sensitifitasnya. Dalam satu dekade terakhir Microcantilever telah menjadi begitu populer karena sensitivitas yang tinggi, kemudahan dalam fabrikasi dan fleksibilitas jika diterapkan pada chipsirkuit. Juga sangat diminati karena kemudahan dalam mengkalibrasi. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah mengubah force dan dimensi pada Microcantilever. Tujuan dari Penelitian ini adalah untuk mengetahui karakteristik dari sebuah Microcantilever karena karakteristik tersebut sangat dibutuhkan sebelum melakukan perancangan sebuah sensor berbasis Microcantilever. Dari hasil simulasi nilai displacement yang dihasilkan pada mikrokantilever adalah 5,31 x 10-10 mm apabila menggunakan force 4N; 6,64 x 10-10 mm apabila menggunakan force 5N; dan 7,97 x 10-10 mm apabila menggunakan force 6N. Ketebalan pada saat perancangan mempengaruhi frekuensi yang dihasilkan oleh mikrokantilever. ketebalan 0,75 µm menghasilkan frekuensi sebesar 0,31 MHz, ketebalan 1,5 µm menghasilkan frekuensi sebesar 0,61 MHz dan ketebalan 3 µm menghasilkan frekuensi 1,218 MHz

Keywords

• mirocantilever, displacement, frekuensi, mems