Mejora de las características de los sensores magnéticos de piezoeléctrico y material ferromagnético

Abstract

In this work we describe a new fabrication method for magnetostrictive-piezoelectric sensors that improve several characteristics. The mechanical coupling between the ferromagnetic and the piezoelectric has been optimised by means of a mixed method: electrolytic deposition of a copper layer, playing the role of polished interface, and sputtering deposition of a highly magnetostrictive material on the interface. This method allows to remove the viscous fluid, improving the sensitivity, time stability and opening the possibility to industrial fabrication. The fabrication method opens also the possibility of miniaturisation or even integration of the sensor.<br><br>En este trabajo se describen varias mejoras al método de fabricación de sensores magnéticos de piezoeléctrico y material ferromagnético. Se ha mejorado el acoplo mecánico entre los dos materiales con un método combinado: deposición electrolítica de una capa de cobre que actuar. de adaptador para eliminar la rugosidad superficial del piezoeléctrico; pulido mecánico y electrolítico de la superficie de cobre y, por último, una deposición posterior de material ferromagnético de alta magnetostricción por Sputtering. Con este método se elimina el pegamento viscoso que une los dos materiales y por tanto, se mejora considerablemente el acoplo mecánico y con él la sensibilidad del sensor, la estabilidad con el tiempo y la repetibilidad en el proceso de fabricación. Se abre así una puerta a una futura integración de estos sensores y a una posible fabricación en serie.

Keywords

• Magnetic sensor
• fabrication process
• Sensitivity
• Sensor magnético
• Proceso de fabricación
• Sensibilidad