Propiedades dieléctricas de láminas delgadas de (Pb,Ca)TiO₃ con alto contenido de Ca

Abstract

Lead titanate thin films modified with calcium, Pb1-xCaxTiO3, with x>35%, have been deposited onto Pt/TiO2/SiO2/(100)Si y Pt/(100)MgO substrates, by the sol-gel method and a rapid thermal processing (RTP). Properties similar to the counterpart bulk ceramics are planned, such as the decrease of the phase transition temperature and the increase of permittivity at room temperature. Films with Ca content close to 40 % and 50% exhibit at room temperature, high enough permittivity with reduced temperature dependence and a C-V behaviour that make them of interest for DRAM and high frequency devices.Se han preparado láminas delgadas de titanato de plomo modificado con calcio, Pb1-xCaxTiO3, (PTCa) con x>35%, depositadas sobre substratos de Pt/TiO2/SiO2/(100)Si y Pt/(100)MgO, empleando la técnica de sol-gel y un horno rápido de procesado (RTP). Se intenta obtener propiedades cercanas al material cerámico masivo, como son la bajada de la temperatura de la transición ferro-paraeléctrica y el aumento de la permitividad, ε´ a temperatura ambiente. Así, se consiguen láminas de contenido de Ca próximas al 40% y 50% con valores altos de permitividad, poco dependientes de la temperatura, que presentan un alto carácter difuso en la transición para temperaturas próxima a ambiente y un comportamiento de la capacidad con el voltaje, C-V,que las hacen de interés en la fabricación de DRAM y dispositivos para alta frecuencia.

Keywords

• Ferroelectric films
• DRAM
• Varistors
• Láminas Ferroeléctricas
• DRAM
• Varistores