Actividad fotocatalítica de recubrimientos de óxidos de titanio depositados por pulverización catódica reactiva

Abstract

El objetivo de este proyecto es medir la actividad fotocatalitica de capas delgadas de óxidos de Titanio depositadas por Pulverización Catódica con Magnetrón. Los recubrimientos se depositaron en sustratos de silicón utilizando una mezcla de gases Ar – O2 y titanio puro como target. Como resultados, se obtuvo una composición química de Ti1-xOx donde x varía de 2,25 a 0,45. De acuerdo a los resultados de las pruebas de Adhesión, la carga mínima obtenida fue de 14,43 N mientras que la mayor fue de 72,01 N. Los resultados de las pruebas para la actividad fotocatalítica mostraron que las muestras no eran reactivas ya que no se obtuvo un cambio de color en el ácido naranja, sustancia en la cual fueron sumergidas, luego de que las muestras estuvieran expuestas a la luz ultravioleta.

Keywords

• Óxidos de Titanio, Foto catalítico, Capas Delgadas, Deposición, Pulverización Catódica.