Guangtongxin yanjiu (Jan 1998)

Ti膜磁控溅射及光吸收特性研究

  • 陈善宝,
  • 林更琪,
  • 方罗珍,
  • 吴爱清

Abstract

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介绍了射频磁控溅射金属Ti膜工艺,对Ti膜光吸收特性进行了测试,用经典电子理论分析了光吸收机理。

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