О возможности капельного распыления тяжёлых металлов тяжёлыми ионами низких и промежуточных энергий

Abstract

Теоретически исследуется капельное распыление тяжелых металлов тяжелыми ионами в области энергий, в которой доминируют упругие потери. Показано, что капельное распыление возможно при энергиях иона как ниже, так и выше предельно допустимой энергии образования нелокального термоупругого пика (НТП капельное распыление обеспечивает нелокальный термоупругий пик (НТП>), образующийся на субкаскаде и/или на пересечении нескольких субкаскадов. Локализация, размер и энергосодержание НТП>, являющиеся случайными величинами, определялись путем моделирования с помощью программного пакета SRIM2008. Определены параметры и вероятность возникновения НТП>, обеспечивающих капельное распыление и кратерообразование при энергиях ионов в случаях комбинаций “ион Au+ в Au” и “ион U+ в U”. Получены оценки коэффициентов распыления в рассмотренных случаях.

Keywords

• тяжелые металлы
• ионная бомбардировка
• атомный каскад
• термоупругий пик
• капельное распыление