Multiaxis interferometric displacement measurement for local probe microscopy

• Lazar Josef,
• Hrabina Jan,
• Šerý Mojmír,
• Klapetek Petr,
• Číp Ondřej

Affiliations

Lazar Josef

Institute of Scientific Instruments, Královopolská 147, 612 64, Brno, Czech Republic

Hrabina Jan

Institute of Scientific Instruments, Královopolská 147, 612 64, Brno, Czech Republic

Šerý Mojmír

Institute of Scientific Instruments, Královopolská 147, 612 64, Brno, Czech Republic

Klapetek Petr

Czech Metrology Institute, Okružní 31, 638 00, Brno, Czech Republic

Číp Ondřej

Institute of Scientific Instruments, Královopolská 147, 612 64, Brno, Czech Republic