MEMS可调光衰减器的波长相关损耗优化

Abstract

基于MEMS（微机电系统）扭镜的光束偏转技术是实现VOA（可调光衰减器）的主流技术方案之一,但其存在WDL（波长相关损耗）较大的问题。通过分析WDL的成因,提出了一种优化设计方案。实验测得在波长范围1.531.57μm与衰减范围020dB内,WDL最大为0.21dB,验证了理论分析的正确性。

Keywords

• 光纤通信;可调光衰减器;波长相关损耗;微机电系统