Rancang Bangun Generator Plasma dengan Media Gas Argon

Abstract

Suatu substansi yang elektron-elektronnya keluar dari orbit tiap atom disebut dengan plasma. Plasma merupakan gas yang terion, dan dapat dibuat dengan cara memanaskan gas atau dengan cara memaparkan medan elektromagnetik yang cukup kuat menggunakan laser atau pembangkit gelombang mikro. Masalah utama dalam pembuatan reaktor plasma adalah bagaimana merancang sistem reaktor plasma yang mempunyai tekanan yang rendah (vacuum) dan menghasilkan debit plasma yang tinggi. CCP (capacitively coupled plasma) merupakan metode yang umum digunakan dalam pembangkitan plasma pada dunia industri. Metode CCP adalah metode yang menggunakan dua elektroda logam yang terpisah dalam jarak yang cukup dekat dan ditempatkan di dalam sebuah reaktor. Tekanan gas dalam reaktor tersebut bisa sama atau lebih rendah dari tekanan atmosfer. Dalam penelitian ini diulas bagaimana merancang generator plasma tegangan tinggi, sehingga dapat memasok tegangan arus searah (DC) untuk membangkitkan plasma di dalam ruangan reaktor yang berisi gas argon tekanan rendah. Selain itu pada penelitian ini juga dilakukan analisa tegangan breakdown sampai ditemukan rajahan hubungan antara tegangan breakdown dengan tekanan gas dan jarak antar elektroda. Diharapkan rajahan tersebut bisa disesuaikan dengan kurva sesuai dengan Hukum Paschen dan mendapatkan hasil yang mendekati kurva ideal.