Düşük Basınçta İndüktif Bağlı Radyo-Frekans Neon Akan Deşarjın Özellikleri

Abstract

İndüktif olarak bağlı radyo-frekans (RF) deşarj odasında 0,17 mbar ile 1,4 mbar arasındaki basınçlarda bulunan neon (Ne) deşarjını karakterize etmek için optik emisyon spektrumları kullanılmıştır. 13,56 MHz frekansında 100, 160 ve 200 W çıkış güçlerinde çalışan RF güç kaynağı ile kuvars deşarj odasının iki farklı bölgesinde saf neon gazının akan deşarjı elde edilmiştir. Bu farklı iki bölgenin optik emisyon spektrumları 200-1200 nm dalga boyları aralığında elde edilmiştir. Amaç seçilen iki farklı bölge için ayrı ayrı plazma optik özellikleri belirlemektir. Neon akan deşarjı için elde edilen spektral çizgiler 585,248 ve 724,516 nm dalga boyları arasındadır. İndüktif bağlı deşarj sisteminde yaklaşık 0,77 mbar basınçta elde edilen deşarjın spektral çizgilerinin şiddetleri maksimum olarak ortaya çıkmıştır. Her iki deşarj bölgesi için uyarılma ve elektron sıcaklıkları matematiksel modeller ile tahmin edilmiştir.

Keywords

• i̇ndüktif bağlı deşarjlar
• düşük basınç deşarj
• deşarjın optik özelikleri
• yüksek frekans ve rf deşarjlar
• inductive coupled discharge
• low pressure discharge
• optical properties of discharge
• high frequency and rf discharge