اپتوالکترونیک (Feb 2021)

طراحی و لایه نشانی بخارفلزات (PVD) روی آلومینیوم و بررسی خواص اپتیکی آن

  • محمدرضا جلالی,
  • حسین صلواتی,
  • زهرا ممتاز

DOI
https://doi.org/10.30473/jphys.2019.44237.1076
Journal volume & issue
Vol. 3, no. 1
pp. 17 – 24

Abstract

Read online

با توجه به نظریه انعکاس و کاربردهای فراوان آینه، می‌توان به آینه‌هایی با پوشش‏های لایه نازک، فلز- دی الکتریک دست یافت؛ از این رو در این مقاله با در نظر گرفتن رهیافت بالا و با استفاده از مواد جدید، آینه‌ای با حداکثر بازتاب نزدیک به 100% و با بستره‏ای از جنس فلز آلومینیوم ساخته شد. آینۀ فلزی ساخته شده یک انعکاس دهندۀ بسیار خوب در بازه طول موجی 3 تا 5 میکرومتر است. لایه واسط مطلوب برای لایه نشانی بخار فلزات، اکسید آلومینیم است که پایداری بالاتری نسبت به بقیه مواد لایه واسط دارد. پس از بهینه‌سازی شرایط انباشت و محاسبه تعداد و ضخامت لایه‏های نازک و لایۀ واسط، مجموعه برآیندی به روش فیزیکی بخار فلزات (PVD) لایه نشانی و ضخامت همۀ لایه‌ها به روش اپتیکی اندازه‌گیری می‌شود. با انجام آزمون‏های‏ کیفی و بررسی طیف انعکاسی، دوام و پایداری مجموعه بررسی می‌شود. آینه آلومینیومی حاصل در ناحیه فروسرخ، انعکاسی بالاتر از 99% دارد.

Keywords