Дослідження електронної складової імпульсного магнетронного розряду

Abstract

Для порівняння характеристик електронної хмари при збудженні розряду імпульсами прямокутної форми та імпульсами у формі затухаючої синусоїди була створена фізико-топологічна модель магнетронної розпилювальної системи. В результаті моделювання було розраховано розподіл в просторі та часі щільність електронів, енергія електронів, щільність енергії електронів при прямокутному та ударному збудженні розряду. Аналіз отриманих результатів підтвердив раніше зазначену іншими авторами особливість, що виражається в формуванні підвищеної щільності електронів на фронтах імпульсів збудження розряду. Також було з’ясовано, що при ударному збудженні магнетронного розряду: 1) енергія електронів над поверхнею катоду-мішені в декілька разів вище ніж при збудженні розряду імпульсом прямокутної форми і відповідно до більш інтенсивного розпилення поверхні катоду-мішені; 2) спостерігається незначне збільшення зони ерозії мішені і відповідно до збільшення коефіцієнта використання матеріалу мішені; 3) в позитивний період синусоїди, утворюються іони, які бомбардують плівку, що осаджується та розпилюють її, якщо вона знаходиться під потенціалом землі.

Keywords

• магнетронна розпилювальна система
• імпульсний розряд
• ударне збудження розряду
• енергія електронів
• щільність енергії електронів