Zhejiang Daxue xuebao. Lixue ban (Jul 2002)

Formation of the film-thickness gradient for films deposited in a gradient magnetic field(梯度磁场中薄膜厚度梯度的形成机理)

  • ZHUYan(朱炎),
  • DIGuo-qing(狄国庆),
  • CHENYa-jie(陈亚杰),
  • ZHAODeng-tao(赵登涛)

DOI
Journal volume & issue
Vol. 29, no. 4
pp. 395 – 399

Abstract

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借助于基片下方放置的磁铁,在溅射的放电空间中引入了纵向的梯度磁场.辉光放电时,其外貌发生了显著的收缩,由此沉积的薄膜在平面内存在明显的厚度梯度.用磁场中带电粒子的运动理论解释了此种薄膜的形成机制.

Keywords