Mikroskop camları üzerinde spin kaplama yöntemiyle üretilmiş ZnO ince filmlerine tavlama sıcaklık ve süresinin etkileri

Abstract

Bu çalışmada, amorf mikroskop camlar üzerine spin kaplama yöntemi kullanılarak ZnO ince filmleri üretilmiş ve bufilmler 350 oC ile 850 oC arasında değişen sıcaklıklarda tavlanmışlardır. Tavlamalar 50 oC’lik aralıklarlagerçekleştirilmiş ve iki farklı (0.5 ve 8 saat) tavlama süresi kullanılmıştır. Bütün numunelere ait XRD, SEM ve UVVisspektrumları alınarak numunelere ait optik ve yapısal özellikler analiz edilmiştir. 400 oC’de sekiz saat tavlanannumunede sadece (100) yönünde kristallenme gözlenmiştir. 800 oC ve 850 oC tavlamaları SiO2 ve Zn2SiO4 ilebağlantılı iki faz üretmiştir. Yapılan deneyler tavlama sıcaklığı ve süresinin genelde ZnO nanoyapılarının çaplarınıartırdığını göstermiştir. Orta sıcaklıklarda (350-600 oC) tavlanan numunelerde 370 nm’de (3.36eV) konuşlanmış birsoğurma bandı gözlenirken bu pik 650 oC’den sonraki tavlama sıcaklıklarında 290 nm’de yeni bir soğurma pikioluşturmuş ve bu yeni pikin de SiO2 fazından kaynaklandığı tespit edilmiştir. 800 oC’de 8 saat tavlanmış numunelerdeSiO2 soğurma pikinde 10 nm’lik bir kırmızaya kayma tespit edilmiştir.

Keywords

• ZnO ince filmler, spin kaplama, ısıl tavlama, mikroskop cam, optik spektrum