In-situ electrical characterization of MOSFET transistors using AFM-in-SEM solution

• Novotny Ondrej,
• Strakos Libor,
• Patocka Marek,
• Schanilec Vojtech,
• Hegrova Veronika,
• Celano Umberto,
• Vystavel Tomas,
• Neuman Jan

Affiliations

Novotny Ondrej

NenoVision s. r. o.

Strakos Libor

Thermo Fisher Scientific

Patocka Marek

NenoVision s. r. o.

Schanilec Vojtech

NenoVision s. r. o.

Hegrova Veronika

NenoVision s. r. o.

Celano Umberto

Arizona State University

Vystavel Tomas

Thermo Fisher Scientific

Neuman Jan

NenoVision s. r. o.