Дослідження класу алгебричних функцій для інтерполяції межових траєкторій короткофокусних електронних пучків

Abstract

Досліджено метод інтерполяції залежності радіуса електронного пучка від положення площини зрізу по поздовжній координаті, основаній на використанні спеціального класу інтерполяційних функцій. Як клас інтерполяційних функцій, які відповідають яружним залежностям радіуса короткофокусного електронного пучка від відстані, обрано корені степеня n з поліномів того ж самого степеня. Результати тестування показали, що, залежно від обраного набору відлікових точок, їх положення відносно області мінімуму та кількості, відносна похибка інтерполяції лежить у межах 0,7 – 8%. Отримані результати математичного моделювання фокальних параметрів електронних пучків є вкрай важливими для фахівців, які займаються розробленням сучасного високоефективного електронно-променевого обладнання та його впровадженням у промислове виробництво.

Keywords

• електронний пучок
• транспортування електронного пучка
• фокальна область
• інтерполяція
• клас алгебричних функцій