Коэффициенты переноса электронов в NF3

Abstract

В настоящей работе с помощью кода Bolsig и сечений упругих и неупругих столкновений электронов с молекулами газа рассчитаны коэффициенты переноса электронов в NF3. Был определен первый коэффициент Таунсенда для прямой ионизации молекул NF3 электронным ударом (как полный, так и парциальный для каждого сорта образующихся положительных ионов). Показано, что в процессе ионизации наиболее вероятно появление положительных ионов NF2+. Получены коэффициент диссоциативного прилипания и значение приведенного электрического поля, в котором частоты ионизации и прилипания электронов равны друг другу, т.е. эффективный коэффициент ионизации равен нулю. С помощью частот упругих и неупругих столкновений рассчитаны также доля энергии, теряемой электронами при столкновениях с молекулами NF3, средняя и характеристическая энергии электронов, подвижность и дрейфовая скорость электронов. Были также измерены ВЧ кривые зажигания для различных расстояний между электродами и частот ВЧ электрического поля, из координат точек поворота на которых получены значения дрейфовой скорости электронов в NF3, удовлетворительно согласующиеся с результатами расчетов с помощью кода Bolsig.

Keywords

• коэффициенты переноса электронов
• первый коэффициент Таунсенда
• транспортная частота
• характеристическая энергия