Формирование гладкого и микропористого подложечного материала на основе ZnO

Abstract

Исследовано влияние температуры осаждения на морфологию и структурно-фазовый состав подложечного материала на основе ZnO толщиной свыше 50 мкм при магнетронном распылении горячей керамической мишени. Показано принципиальное влияние температуры осаждения на скорость роста, морфологию и структурные параметры монокристаллического осадка ZnO. Продемонстрированы сверхвысокие (до 1.5 мкм/мин) скорости осаждения ZnO в режиме распыления горячей керамической мишени. Предложена методика формирования как гладкого, так и микропористого подложечного материала на основе ZnO без использования шаблонных технологий. Полученные в работе результаты могут найти широкое применение в оптоэлектронике и нитридных технологиях.

Keywords

• оксид цинка
• горячая мишень
• магнетронное распыление
• микропористая структура
• подложки
• нитридные технологии