پژوهش سیستمهای بسذرهای (Aug 2011)
رشد و بررسی خواص ساختاری و الکتریکی لایههای نازک Pb الکتروانباشت شده بر روی زیرلایههای Au و Cu
Abstract
در این تحقیق لایههای نازک Pb با ضخامتهای مختلف به روش الکتروانباشت تک حمام و با استفاده از سه الکترود بر روی زیرلایههای مس و طلا تهیه شدند. برای به دست آوردن ولتاژ مناسب انباشت از مطالعه ولتامتر چرخهای استفاده شد. ضخامت لایههای انباشت شده با استفاده از دستگاه Dektak3 اندازهگیری شد. نانوساختار این لایهها با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی و الگوی پراش اشعه ایکس مورد مطالعه قرار گرفت. بستگی مقاومت الکتریکی به ضخامت لایههای نازک سرب با استفاده از دستگاه چهارسوزنه در آرایش وان در پائو بررسی شده است.