Advanced Diffusion Strategies for Junction Formation in Germanium

Davide De Salvador; Francesco Sgarbossa; Gianluigi Maggioni; Enrico Napolitani; Chiara Carraro; Sara Maria Carturan; Walter Raniero; Stefano Bertoldo; Ruggero Milazzo; Virginia Boldrini; Gian Andrea Rizzi; Daniel Ricardo Napoli; Alberto Carnera

doi:10.3390/proceedings2019026039

Proceedings (Sep 2019)

Advanced Diffusion Strategies for Junction Formation in Germanium

Davide De Salvador,
Francesco Sgarbossa,
Gianluigi Maggioni,
Enrico Napolitani,
Chiara Carraro,
Sara Maria Carturan,
Walter Raniero,
Stefano Bertoldo,
Ruggero Milazzo,
Virginia Boldrini,
Gian Andrea Rizzi,
Daniel Ricardo Napoli,
Alberto Carnera

Affiliations

Davide De Salvador: Dipartimento di Fisica e Astronomia, Università di Padova, Via Marzolo 8, I-35131 Padova, Italy
Francesco Sgarbossa: Dipartimento di Fisica e Astronomia, Università di Padova, Via Marzolo 8, I-35131 Padova, Italy
Gianluigi Maggioni: Dipartimento di Fisica e Astronomia, Università di Padova, Via Marzolo 8, I-35131 Padova, Italy
Enrico Napolitani: Dipartimento di Fisica e Astronomia, Università di Padova, Via Marzolo 8, I-35131 Padova, Italy
Chiara Carraro: Dipartimento di Fisica e Astronomia, Università di Padova, Via Marzolo 8, I-35131 Padova, Italy
Sara Maria Carturan: Dipartimento di Fisica e Astronomia, Università di Padova, Via Marzolo 8, I-35131 Padova, Italy
Walter Raniero: National Institute for Nuclear Physics INFN, Laboratori Nazionali di Legnaro, Viale dell’Università 2, I-35020 Legnaro, Italy
Stefano Bertoldo: National Institute for Nuclear Physics INFN, Laboratori Nazionali di Legnaro, Viale dell’Università 2, I-35020 Legnaro, Italy
Ruggero Milazzo: Dipartimento di Fisica e Astronomia, Università di Padova, Via Marzolo 8, I-35131 Padova, Italy
Virginia Boldrini: Dipartimento di Fisica e Astronomia, Università di Padova, Via Marzolo 8, I-35131 Padova, Italy
Gian Andrea Rizzi: Dipartimento di Chimica, Università di Padova, Via Marzolo 1, I-35131 Padova, Italy
Daniel Ricardo Napoli: National Institute for Nuclear Physics INFN, Laboratori Nazionali di Legnaro, Viale dell’Università 2, I-35020 Legnaro, Italy
Alberto Carnera: Dipartimento di Fisica e Astronomia, Università di Padova, Via Marzolo 8, I-35131 Padova, Italy

DOI: https://doi.org/10.3390/proceedings2019026039
Journal volume & issue: Vol. 26, no. 1
p. 39

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The investigation of innovative dynamical processes for the fabrication of highly doped andhigh quality Ge layers is currently a hot topic in many applicative fields such as nanoelectronics,photonics and radiation detectors. [...]

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Published in Proceedings

ISSN: 2504-3900 (Online)
Publisher: MDPI AG
Country of publisher: Switzerland
LCC subjects: General Works
Website: http://www.mdpi.com/journal/proceedings

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