A METHOD OF MEASURING THERMAL STABILITY IN DELTA-DOPING

Abstract

Se discute una superred novedosa, que permite la determinación de la estabilidad geométrica y precisión de capas delta-dopadas con respecto a efectos de difusión y migración, así como la evaluación tecnológica de la producción de dispositivos. Esta estructura nanométrica actúa como sonda interna en copamiento de superredes, semejante al caso conocido de los "pozos ensanchados" en superredes de composición. Se usa la luminiscencia entre pares donador-aceptor, la cual depende de la distancia de separación que refleja el arreglo geométrico de capas delta-dopadas vecinas, siempre que existan donadores y aceptores en las capas correspondientes.

Keywords

• Superred
• dopamiento bidimensional
• luminiscencia
• pares donador-aceptor
• estabilidad térmica
• arreglo geométrico